- resist preexposure baking
- отжиг резиста перед экспонированием
English-Russian dictionary of microelectronics. 2014.
English-Russian dictionary of microelectronics. 2014.
Resist preexposure baking — Термообработка фоторезиста перед экспонированием, предэкспозиционная термообработка (фото)резистафоторезиста¦резиста … Краткий толковый словарь по полиграфии